研究代表者 |
持地 広造 兵庫県立大学, 大学院, 教授
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2006
|
| 概要 | 数千個オーダーの気体原子(分子)から構成されるガスクラスターイオンを照射する場合、構成原子1個あたりの運動エネルギーを1eV以下まで小さくすることができるとともにスパッタ率を従来の単原子イオン照射に比べて2桁以上大きくすることができる。このガスクラスターイオンを一次イオンに利用することにより、有機物の分子構造を非破壊で計測したり、元素の深さ方向分布を1原子層の分解能で計測可能な無損傷二次イオン質量分析技術(SIMS)への応用を図る。
|
|---|
