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無損傷SIMS基本技術の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

持地 広造  兵庫県立大学, 大学院, 教授

研究期間 (年度) 2006
概要数千個オーダーの気体原子(分子)から構成されるガスクラスターイオンを照射する場合、構成原子1個あたりの運動エネルギーを1eV以下まで小さくすることができるとともにスパッタ率を従来の単原子イオン照射に比べて2桁以上大きくすることができる。このガスクラスターイオンを一次イオンに利用することにより、有機物の分子構造を非破壊で計測したり、元素の深さ方向分布を1原子層の分解能で計測可能な無損傷二次イオン質量分析技術(SIMS)への応用を図る。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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