クリーンルーム内の汚染物質を選択的に検出する分子ふるいセンサ

研究課題

研究代表者	片田直伸鳥取大学, 工学部, 助教授
研究期間 (年度)	2006
概要	新規性・独創性無機表面にnmより小さい形状選択的反応場を実現する技術は唯一。実用化の可能性クリーンルームメーカーとの連携により、直ちに商品化可能。内容と目標実験室では成功。シリコン基板上のセンサチップによって数ppmの溶剤共存下で数ppbのDAPを検出するセンサを開発する。