半導体製造エッチング剤中の処理化学薬品濃度と微量金属不純物濃度の可搬型同時測定装置開発

研究課題

研究代表者	本水昌二岡山大学, 大学院自然科学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2006
概要	1)エッチング剤中の%オーダーの化学処理薬品濃度とsub-ppb オーダー(10 億分の一以下)の微量金属不純物濃度の測定を、連続的に迅速に行ない、データは薬品添加装置にフィードバックする装置である。2)特許申請のフロー滴定(FT)の概念と、高感度定量が可能なフローインジェクション分析(FIA)の概念を合体し、新規測定装置(FT/FIA)を生み出したもので、このような装置は世界的にも開発されていない。3)必要な基本技術・装置のFT/FIA は、プランジャー型ポンプで成功しており、その技術、ノウハウを用いて、シリンジポンプによる小型・軽量装置を実現することで、実用化の可能性は極めて高い。4)目標は、小型・軽量(5kg 以下)、少試料、迅速測定(3 分間内)可能な可搬型装置開発で、このために小型シリンジポンプを用いたコンピュータ制御自動化FT/FIA 測定装置を開発する。