シリコン集積回路と一体化形成可能な電界効果発光(EL)素子の開発

研究課題

研究代表者	大曽根隆志岡山県立大学, 情報工学部
研究期間 (年度)	2005
概要	目的:シリコン集積回路上に形成可能な超小型・高精細・低電圧駆動EL素子の開発内容:絶縁膜上に形成したn+多結晶シリコン膜上にCVD(化学気相成長)法でシリコン酸化膜を形成して高濃度にシリコンをドープし、その上面に透明電極を形成したシリコン集積回路とプロセス互換性の優れたEL素子を試作し、実用化のための実証デバイスを試作する。