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シリコン集積回路と一体化形成可能な電界効果発光(EL)素子の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

大曽根 隆志  岡山県立大学, 情報工学部

研究期間 (年度) 2005
概要目的:シリコン集積回路上に形成可能な超小型・高精細・低電圧駆動EL素子の開発 内容:絶縁膜上に形成したn+多結晶シリコン膜上にCVD(化学気相成長)法でシリコン酸化膜を形成して高濃度にシリコンをドープし、その上面に透明電極を形成したシリコン集積回路とプロセス互換性の優れたEL素子を試作し、実用化のための実証デバイスを試作する。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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