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並列同期検出によるイメージング・エリプソメーターの開発とマイクロアレイへの応用
研究課題
産学が連携した研究開発成果の展開
研究成果展開事業
地域事業
地域イノベーション創出総合支援事業
シーズ発掘試験
研究代表者
大槻 荘一
産業技術総合研究所, 健康工学研究センター, 主任研究員
研究期間 (年度)
2006
概要
並列同期検出によるイメージング・エリプソメーターの開発とマイクロアレイへの応用