概要 | 液中プラズマは,愛媛大学で発明された世界初のオリジナル技術であり,特許認定(3件)を受けている.さらに新規性としても,米国応用物理学会誌速報(APPLIED PHYSICS LETTERS,IF 値=4.2)に数度掲載され,高く評価されている.この,液中プラズマCVD 法を用いて,まずダイヤモンド結晶を合成するための使用溶液(種類,配合割合),圧力,基板温度,溶液の流れなどの合成条件の基礎を明らかにする.さらに,液中プラズマ法の最大の特徴である高速合成のための条件を考察して探索し,工業プロセス適用のための指針を得る.
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