| 概要 | 現在,環境問題やエネルギー問題の観点から,ガスタービンや自動車用エンジンを能動的に制御し高エネルギー効率やローエミッション化を実現することが世界的に試みられている.燃焼は圧力に影響されることから燃焼室圧力を基に燃焼制御を行うことが望ましい.しかし.500°C以上の環境下で燃焼ガス圧を直接計測できるセンサはまだ存在せず,さらに,燃焼室の狭隘さやセンサの高信頼性化を鑑みると,エンジンの能動制御を実現するためには,無冷却作動の小型圧力センサが必要不可欠である.そこで,本研究では,理論的には2000°Cでも圧電性を有するとされる窒化アルミニウム(AIN)の薄膜を用いて,先述の燃焼制御に資する圧力センサを実現することを目的とする.
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