氷粒子高速衝突現象を利用した洗浄・研磨装置の開発

研究課題

研究代表者	杉山弘室蘭工業大学, 工学部機械システム工学科, 教授
研究期間 (年度)	2006
概要	固体粒子高速衝突現象の素過程の解明と、無公害洗浄・研磨への応用を目指した氷粒子高速衝突実験装置の基盤技術の研究開発を行う。