環境・安全センシングシステムの構築に有用なAlGaN深紫外光センサーの高性能化

研究課題

研究代表者	橋詰保北海道大学, 量子集積エレクトロニクス研究センター, 教授
研究期間 (年度)	2006
概要	窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)は、有害紫外光や火炎特有のスペクトルに選択的感度を有し、超高感度の深紫外光センサーや火炎センサーが実現可能となり、環境・安全センシングシステムの構築に大きな貢献を果たす。しかし、センサー構造の金属?半導体接合には、異常な漏れ電流が流れ、実用化を阻む最大の問題となっている。本試験研究では、漏れ電流機構のモデル化とそれに基づく界面制御プロセスを開発し、AlGaN 深紫外光センサーの高感度化と高安定化を実現する。