薄い誘電体の広帯域マイクロ波誘電測定装置の開発と応用

研究課題

研究代表者	野嵜龍介北海道大学, 大学院理学研究院, 助教授
研究期間 (年度)	2006
概要	マイクロ波領域を含む広帯域において、薄い絶縁材料の複素誘電率を高精度かつ簡便に測定評価する方法を開発した。大変コンパクトな測定フィクスチャを市販のネットワークアナライザと組み合わせることにより、100MHz～20GHz の周波数領域において、厚さ30μm～300μm のフィルム状誘電体の複素誘電率(もしくは誘電正接)を求めることができる。温度依存性の測定も大変容易で、かつ高分子フィルムやセラミック板だけでなく液体や粉末にも応用できる特色を有する。本提案で測定技術の安定化を検討し実用化の見通しを得る。