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四光波光回折技術を利用した表面解析装置の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

戸田 泰則  北海道大学, 創成科学共同研究機構流動研究部門ナノテクノロジー・材料系, 助教授

研究期間 (年度) 2006
概要特許申請中の四光波回折技術を利用した結晶解析装置を製作する。非線形分光を利用して高感度を実現しており、X線解析装置と同等の歪解析、異方性解析が実現される。従来のX線解析に比して安全性、小型化を含む汎用性や製造コストにおいて圧倒的に優れ、特に光デバイスとして市場の大きい窒化物半導体結晶(GaN)を対象とした定量解析装置に応用可能であり、デリバリー型の装置として生産ラインでの評価に耐え得る汎用性をもつ。本課題では、試料を光デバイスとして市場の大きいGaNに限定し、小型化した装置を開発する。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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