ワイドバンドギャップ半導体中における電荷捕獲準位の直接計測手法の開発

研究課題

研究代表者	藤田文行北海道大学, 大学院工学研究科, 助手
研究期間 (年度)	2006
概要	本研究においては、ワイドバンドギャップ半導体の電気特性に大きな影響を与える電荷捕獲準位のエネルギーならびに密度を定量的に測定する新たな測定法を開発する。本研究で提案する手法は捕獲準位に電荷キャリアを故意にトラップさせた上で、光I-Vを測定することにより電子と正孔のそれぞれに対する捕獲準位をスペクトロスコピー的に直接測定する。本研究では試料冷却装置を整備し、高エネルギー分解能測定の可能性を検証する。