引張応力を持つシリコン薄膜の創製と高機能マイクロミラーデバイスへの応用

研究課題

研究代表者	佐々木実東北大学, 大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
研究期間 (年度)	2005
概要	強い引張応力を持つシリコン薄膜を新しく導入して、マイクロミラーデバイスを多くのアプリケーションに適用できるよう性能アップする。主に実用化を阻んでいるのは以下の3問題である。?低電圧駆動で、かつ大きなミラー回転角を得ることが難しいこと、?ミラー回転角の高精度制御が難しいこと、?高速動作に適した、軽くて光の波長レベルで平坦なミラーの製作が難しいこと、本研究は直接には?と?を解決するマイクロミラーデバイスの試作と評価である。