1. 前のページに戻る

熱源用セラミック・マイクロコンバスタの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

丸田 薫  東北大学, 流体科学研究所

研究期間 (年度) 2005
概要本応募では,1200°Cレベルの熱源として使用するセラミック・マイクロコンバスタの開発を目的とする。本申請者らが開発に成功した熱源用マイクロコンバスタは,燃焼式ヒータでありながら電気ヒータ並みの温度制御性を有するという優れた特長があるが,これまでは燃焼器筐体の材質をステンレス製としたため,材料の制約上最高温度は高々900°C程度に抑えざるを得なかった。本応募では,その適用温度範囲を大幅に拡大し,優れた省エネルギー性・省コスト性(両者とも電気ヒータ比50%以上の改善)を活かしてその適用範囲を格段に広げ,半導体プロセスや磁性材料プロセスを始めとする各種の高温プロセスへの適用を図るものである。

URL: 

JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

サービス概要 よくある質問 利用規約

Powered by NII jst