| 概要 | 本応募では,1200°Cレベルの熱源として使用するセラミック・マイクロコンバスタの開発を目的とする。本申請者らが開発に成功した熱源用マイクロコンバスタは,燃焼式ヒータでありながら電気ヒータ並みの温度制御性を有するという優れた特長があるが,これまでは燃焼器筐体の材質をステンレス製としたため,材料の制約上最高温度は高々900°C程度に抑えざるを得なかった。本応募では,その適用温度範囲を大幅に拡大し,優れた省エネルギー性・省コスト性(両者とも電気ヒータ比50%以上の改善)を活かしてその適用範囲を格段に広げ,半導体プロセスや磁性材料プロセスを始めとする各種の高温プロセスへの適用を図るものである。
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