1. 前のページに戻る

フェムト秒レーザーを用いたミクロX線分析

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

福村 裕史  東北大学, 理学研究科化学専攻

研究期間 (年度) 2005
概要微細領域の元素分析はSEM?EDXを使用するのが一般的であるが、真空中での測定という制約をうけるのに対し、本申請課題は同程度の分析を電子線の代わりにレーザーを使用するので、空気中でも分析が可能になる. 用いるレーザーは十兆分の一秒(100フェムト秒)程度の超短パルス光であり、レンズにより集光するので極めて高強度のレーザー場が物質表面に生成する。この結果、高エネルギーの電子が生成し材料中に含まれる原子との衝突によって、元素に固有の特性X線が得られる.また対物レンズを用いるため,材料の局所的な元素組成を知ることができる.このシーズ育成試験では,組成分析における空間分解能を1ミクロン以下まで高める.

URL: 

JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

サービス概要 よくある質問 利用規約

Powered by NII jst