| 概要 | 微細領域の元素分析はSEM?EDXを使用するのが一般的であるが、真空中での測定という制約をうけるのに対し、本申請課題は同程度の分析を電子線の代わりにレーザーを使用するので、空気中でも分析が可能になる. 用いるレーザーは十兆分の一秒(100フェムト秒)程度の超短パルス光であり、レンズにより集光するので極めて高強度のレーザー場が物質表面に生成する。この結果、高エネルギーの電子が生成し材料中に含まれる原子との衝突によって、元素に固有の特性X線が得られる.また対物レンズを用いるため,材料の局所的な元素組成を知ることができる.このシーズ育成試験では,組成分析における空間分解能を1ミクロン以下まで高める.
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