高容量コンデンサー用金属ナノパウダーの気相製造法

研究課題

研究代表者	佐藤譲東北大学, 大学院工学研究科
研究期間 (年度)	2005
概要	小型・高性能化の進む携帯用等の電子機器を始め、あらゆる電子回路に用いられる高性能コンデンサー用の微細なTaあるいはNb(機器の低電圧化に伴いTaの代用として伸びている)のナノサイズ粉末を製造することが本課題の目的である。そのためにTaやNbの塩化物を気相においてZn蒸気と反応させて微粉末を得る方法を考案した。この方法の最適製造条件について研究を行う。