新規Cr-N薄膜を用いた高感度マイクロフォースセンサの開発と応用

研究課題

研究代表者	丹羽英二電機磁気材料研究所, 主任研究員, 主任研究員
研究期間 (年度)	2006
概要	本研究では、Cr-N薄膜を用いて、接触圧力、流体の圧力・流量・速度、トルクおよび加速度など様々な物理量の微小変化を検知可能とするマイクロフォースセンサの開発を目的とする。本試験研究においては、その端緒としてCr-N薄膜を形成したPI 製ダイアフラムを用い、微圧(数kPa～数10kPa)領域における圧力検知の感度と直線性の検討を行う。