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超低消費電力小型SiCガスセンサの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

末光 眞希  東北大学, 学際科学国際高等研究センター, 教授

研究期間 (年度) 2006
概要本試験では、センサネットワークによる環境モニタリングを想定した、超小型・高機能・超低消費電力のアクティブ無線タグ用半導体式ガスセンサに必要な要素技術を開発することを目的とする。具体的には、極薄炭化ケイ素(SiC)薄膜を用いたガスセンサ部の構築、及びSi MEMS技術を用いたヒータ製作を行い、ガスセンサとしての基本動作を確認する。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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