超低消費電力小型SiCガスセンサの開発

研究課題

研究代表者	末光眞希東北大学, 学際科学国際高等研究センター, 教授
研究期間 (年度)	2006
概要	本試験では、センサネットワークによる環境モニタリングを想定した、超小型・高機能・超低消費電力のアクティブ無線タグ用半導体式ガスセンサに必要な要素技術を開発することを目的とする。具体的には、極薄炭化ケイ素(SiC)薄膜を用いたガスセンサ部の構築、及びSi MEMS技術を用いたヒータ製作を行い、ガスセンサとしての基本動作を確認する。