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高プラズマ耐性セラミックス膜の高速低音コーティングと応用

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

後藤 孝  東北大学, 金属材料研究所, 教授

研究期間 (年度) 2006
概要本試験では、新規のレーザーCVD を用いて、各種セラミックス膜を 1 時間あたり数 100μm以上の成膜速度でコーティングできる技術の開発を目的とする。具体的には、アルミナおよびアルミニウム基板上へのイットリウムおよびイットリウムシリケイト膜の成膜条件を変化させ、組織観察により、最適成膜条件を明らかにする。また、耐プラズマエッチング特性を評価し、実用されている市販材料と比較し、優位性を明らかにする。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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