DLCコーティングにより高強度化した溶液噴射微細管の作製

研究課題

研究代表者	角田直人九州大学, 工学研究院, 助教授
研究期間 (年度)	2006
概要	ガラスエミッター外側表面に、高硬度、化学的高安定性、及び電気高絶縁性の特徴を有するDiamond-Like Carbon(DLC)をコーティングし、高強度化することが目的である。エミッターとは先端外径が1～10 μm、内径が0.5～5 μm のテーパー部が長い針型の溶液噴射微細管を指し、次世代質量分析装置における試料のイオン化に必須のデバイスである。特に、微量アミノ酸の質量分析では高濃度試料の高感度分析が要求されており、噴射液滴を極限まで小さくする必要がある。イオン化のために2～5 kV の高電圧が先端に印加されるが、既存の同サイズのガラスエミッターは強度に問題があり、一方、金属製エミッターは加工上の制約により内径30 μm が限界である。ガラスエミッターの有する微小内径を活かしつつ、硬質炭素材料により高強度化した例はない。申請者はこれまで独自のプラズマCVD 電極構造を開発し、エミッターへのDLC コーティングに成功しており、本期間ではパルス電圧印加による厚膜化と、実用に向けた強度評価を実施しその性能を提示する。