PLD法により生成されるナノ微結晶ダイヤモンド薄膜の極小切削部品への適用

研究課題

研究代表者	吉武剛九州大学, 大学院総合理工学研究院, 助教授
研究期間 (年度)	2006
概要	今までの研究で、単結晶ダイヤモンドとダイヤモンド状炭素(DLC)の長所を併せ持つ新材料・超ナノ微結晶ダイヤモンド(UNCD)の成膜を、レーザーアブレーション(PLD)法により世界で初めて実現した。化学気相成長(CVD)法で得られるUNCDは表面平滑性が悪く、700～800°C以上の高温プロセスを必要とするのに対して、1nm以下の平坦性と550°Cでの低温成長を実現した点が画期的な点である。この長所を生かし、かつPLD法が小面積の膜堆積しかできないことを考慮して、本研究では、極小切削工具への硬質皮膜としての適用に絞って有効性の検証を行う。実際に極小切削工具へUNCD堆積を行い、実証試験を企業に依頼する。採算を取るためには、工具寿命を10倍程度まで伸ばさなければならないことが見積もられており、その実現を目指す。