V溝加工光ファイバプローブを用いた微小深穴内径測定器の開発

研究課題

研究代表者	村上洋福岡県工業技術センター, 機械電子研究所生産技術課, 主任技師
研究期間 (年度)	2006
概要	微細金型やマイクロマシン、微細ノズル等の微細加工技術の進歩に伴い、細かい幾何形状を測定する重要性は増加している。特に、直径100μm以下の小径穴の加工にはドリル・放電・レーザ加工等が用いられており、これらの小径穴を精密に加工するためには、穴の内径や形状(真円度、真直度、円筒度等)を高精度に測定する必要がある。小径穴の測定器については、現状光学式による方法が用いられた装置が市販されている(測定可能な最小内径:100μm)。しかし、光学的な方法は測定精度が対象となる材料やその表面の粗さの影響を受けやすく、測定の原理上、深穴や深溝などの形状は測定が困難である。小径の深穴を精度よく測定するためには、測定力が低い接触式の微細径プローブが必要である。そこで、小径深穴の測定が可能なプローブとして、直径数十μmの微細径の光ファイバに複数のV 溝を加工した接触式プローブを用いることにより、低測定力・検出機構が簡便で100μm以下の小径穴の測定が可能な微小穴内径測定装置の開発を目指す。