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極薄膜型温度センサーの実用化

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

宮崎 康次  九州工業大学, 生命体工学研究科

研究期間 (年度) 2005
概要燃料電池などエネルギー機器には常に温度管理が必要不可欠であり,当然そのための温度測定は欠かせない.一方、エネルギー機器のマイクロ化は留まることがなく,熱電対や白金測温抵抗体など従来の細線型の温度センサーの利用が難しくなっている.これはひとえに形状の問題に起因し,熱電対等の先にできる溶接玉が装置と干渉してしまうためであり,厚さも約50μmとかなり厚い.この問題を解決するため,本課題では,薄膜技術を熱電対に応用し,ポリマー薄膜に薄膜型熱電対を作製する方法を採る.薄膜の厚さは数100nmであり,基板のポリマ-を含めても全体の厚さを10μm以下にすることが可能である.従来の温度センサーと異なり,形状に凹凸がない上に極めて薄いため,センサーを測定対象に外部から挿入して,機器内部の温度計測が可能である.

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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