| 概要 | 燃料電池などエネルギー機器には常に温度管理が必要不可欠であり,当然そのための温度測定は欠かせない.一方、エネルギー機器のマイクロ化は留まることがなく,熱電対や白金測温抵抗体など従来の細線型の温度センサーの利用が難しくなっている.これはひとえに形状の問題に起因し,熱電対等の先にできる溶接玉が装置と干渉してしまうためであり,厚さも約50μmとかなり厚い.この問題を解決するため,本課題では,薄膜技術を熱電対に応用し,ポリマー薄膜に薄膜型熱電対を作製する方法を採る.薄膜の厚さは数100nmであり,基板のポリマ-を含めても全体の厚さを10μm以下にすることが可能である.従来の温度センサーと異なり,形状に凹凸がない上に極めて薄いため,センサーを測定対象に外部から挿入して,機器内部の温度計測が可能である.
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