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高繰り返しパルス真空紫外レーザーの開発
研究課題
産学が連携した研究開発成果の展開
研究成果展開事業
地域事業
地域イノベーション創出総合支援事業
シーズ発掘試験
研究代表者
窪寺 昌一
宮崎大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)
2006
概要
本研究は、光電界電離法を用いることによりこれまで実用的なレーザーが実現されていない真空紫外域(波長126 nm)において高繰り返しレーザーを開発することを目的としている。このアルゴンエキシマレーザーを具現化するために、高強度レーザーの高い光電界を用いる光電界電離法を用いてレーザー生成アルゴンプラズマの密度・温度を正確に制御する手法を導入し、効率のよいアルゴンエキシマ生成を可能とする。