| 概要 | 低い電圧(～3V)を加えることにより色を変化させることのできるエレクトロクロミック(EC)素子は、目に優しく、消費電力が非常に少ないディスプレイ材料として注目されている。これをフレキシブル基板上に作製できれば,電子ペーパー等への応用が期待できる。本研究では、?代表的なEC薄膜である3酸化タングステン(WO3)と固体電解質(Ta2O3)の多層膜(WO3/Ta2O3)を、ITOが成膜されたフレキシブル基板(PET(ポリエチレンテレフタレート)やPEN(ポリエチレンナフタレート)等)上に、?オゾンガスを導入する新プラズマプロセスを用いて,高い透明度と導電性(高結晶性、低酸素欠損)を保ったまま低基板温度で成膜することを目的とする。また?ITOに代わる安価な透明導電性薄膜として知られているZnO薄膜をフレキシブル基板上に成膜し,その上にEC薄膜を作製する事を試みるものである。
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