| 概要 | 申請者らがこれまで確立してきた高熱安定性メソポーラス酸化物の作製技術と転写厚膜作製技術を組み合わせることにより,実用レベルのVOC センサの開発を目指す。すなわち,数nm サイズのメソ細孔を有する酸化物センサ材料をサブμm サイズのマクロ細孔を有する感応膜あるいはヘテロ積層感応膜とすることにより,検知ガス種の拡散性,吸着特性,反応性をコントロールし,ガス応答感度の飛躍的向上(検知限界:数10 ppb)を実現する。その際,特に,検知対象ガスに最も適したメソ・マクロ細孔構造やヘテロ積層構造を如何に設計・制御するかが重要な鍵となる。検知方式としては,センサ材料の導電率変化を利用する通常の半導体ガスセンサ方式と,多孔体表面に検知ガスを吸着させたのち急速加熱・燃焼させて燃焼熱による温度上昇を信号とする吸着燃焼方式の2通りを検討する。
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