極薄FePt/FeCo積層膜を用いた高Hc高Bs高分解能磁気力顕微鏡探針の開発

研究課題

研究代表者	石尾俊二秋田大学, 副学長・理事(教授)
研究期間 (年度)	2006
概要	磁性ナノ粒子規則配列の磁気特性を理解するためには、ナノスケールでの磁区構造の解明が重要となる。磁気力顕微鏡(MFM)は磁気イメージングと同時に、ナノスケールで表面形状も画像化できることから、磁性ナノ粒子の構造と磁化状態の相関を明らかにする上で有効な手法である。しかしながら、現在、MFMの磁気分解能は最高でも10nm程度であることからその向上が強く望まれている。本開発プログラムでは、空間分解能5nm以下の超高解像磁気力顕微鏡(MFM)用探針の開発を行うことを目的とする。即ち、Si探針基板に高飽和磁化膜/極薄高保磁力膜を積層することによって、従来にない5nm以下の空間分解能を有する磁気二層型高分解能探針の実現を目指すものである。