フォトニック結晶によるコントローラブル光デバイスの研究開発

研究課題

研究責任者	東北大学, 名誉教授
研究期間 (年度)	2002 – 2005
概要	新規「自己クローニング」プロセスによって凹凸ナノ構造を周期的に積層した「フォトニック結晶」の製造技術を開発し、光通信用「偏光モニタ」に最適化した「フォトニック結晶」を基幹部品とする小型(従来比1/10)高精度(数倍)「偏光(SOP)モニタ」モジュールを開発した。更に同様な集積化「フォトニック結晶」を応用した膜厚計測用「エリプソメータ」を試作し高性能特性を確認した。