ハイブリッドナノダイヤモンド(HND)膜の開発とその成膜プロセスの確立

研究課題

研究責任者	粟津薫石川県工業試験場, 企画指導部, 嘱託
研究期間 (年度)	2001 – 2004
概要	低摩擦、耐付着、表面平滑性に優れたアモルファス構造を主体とするダイヤモンドライクカーボン膜と、高硬度で耐磨耗性に優れたダイヤモンド構造を主体とする多結晶ダイヤモンドとを相互に積層融合化させることにより、これまでにない高強度で耐久性のあるハイブリッドナノダイヤモント膜を作ることが出来る独創的な新工法である。これらの膜を施した工具は優れた耐久性と表面平滑性の向上がある。特に、成膜時の温度が200°C以下と低く、大量処理が可能であること、比較的容易なプロセスで高密度化が可能なことなどにより、工具のみでなくコーティング母材としての用途も期待できる。