マイクロ・微細光学部品用セラミックス製成形型の超精密研削加工技術の開発

研究課題

研究責任者	鈴木浩文中部大学, 教授
研究期間 (年度)	2002 – 2005
概要	超精密加工機による微細切削・研削加工により、非球面レンズ、ホログラム光学素子などの微細加工が可能となりつつある。しかしながら、その要求するナノレベルの精度、形状の複雑さは、更に厳しさが増し、非軸対称非球面形状(自由曲面)や非球面レンズのガラス化が求められている。本研究では、ナノメートル精度を有する新しい構成の多軸制御研削加工システム、非軸対称非球面形状に対応できる偏差補正加工システムを開発し、フレネルレンズなど様々な微細形状を有する自由曲面超精密研削加工技術の実用化を図る。