赤外領域短パルス幅レーザーによるSi/MEMS積層構造物の内部加工技術と周波数増減調整装置の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開研究成果展開事業研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) ハイリスク挑戦タイプ

企業責任者	シチズンファインテックミヨタ株式会社
研究責任者	伊藤義郎長岡技術科学大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	2009 – 2010