精密微調機構用圧電アクチュエータ

研究課題

研究代表者	樋口俊郎東京大学, 教授
研究期間 (年度)	1999 – (非公開)
概要	圧電素子と空気圧シリンダを組み合わせ、粗動・微動機構を一体化した、小型かつ高精度のアクチュエータ(位置決め機構)。発光・受光素子と光ファイバ、導波路との位置あわせやレンズやミラーなどの光学部品の組立の際の光路、光軸調整のためのアクチュエータとして利用が期待される。