電子顕微鏡観察用無損傷レーザー精密研磨装置

研究課題

研究代表者	市野瀬英喜北海道大学
研究期間 (年度)	2002 – (非公開)
概要	電子顕微鏡観察に必要な、ナノサイズの超精密薄片化試料を無損傷で作成するためのレーザー精密研磨装置の開発を行う。エキシマレーザーを固体物質表面に照射することによる量子効果原子剥離の原理を利用し、表面原子の原子結合を切断し原子面を一面ずつ剥ぎ取るため、無損傷で原子尺度の平滑な表面研磨が可能となり、電子デバイスや機能材料から構造材料に至るまで、ナノサイズ規模の材料開発への利用が期待される。