高性能ポリシリコン薄膜

研究課題

研究代表者	三宅正司大阪大学, 教授
研究期間 (年度)	2000 – (非公開)
概要	高密度・低損傷プラズマ技術により、結晶構造を制御したポリシリコン薄膜の大型ガラス基板への形成(マザーシートの作成)技術の研究開発を行う。フラットパネルディスプレイ等への応用など、各種デバイスへの利用が期待される。