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高性能ポリシリコン薄膜

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 平成20年度までに募集を終了した事業 独創的シーズ展開事業 プレベンチャー事業

研究代表者

三宅 正司  大阪大学, 教授

研究期間 (年度) 2000 – (非公開)
概要高密度・低損傷プラズマ技術により、結晶構造を制御したポリシリコン薄膜の大型ガラス基板への形成(マザーシートの作成)技術の研究開発を行う。フラットパネルディスプレイ等への応用など、各種デバイスへの利用が期待される。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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