液晶による位置制御用精密測長器

研究課題

研究代表者	吉野勝美大阪大学, 教授
研究期間 (年度)	2001 – (非公開)
概要	液晶の電気光学効果を利用するサーボ機構の高精度測長技術を研究開発する。本技術によって、サーボに目標を直接指示できると共に、光センサーの出力から移動量の高精度ナノメートル位置検出が可能である。半導体生産装置、光・ハードディスク欠陥装置、レーザ工作機械、3次元スキャナ等の精密位置決めへの利用が期待される。