1. 前のページに戻る

超精密ナノ加工計測装置の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 平成20年度までに募集を終了した事業 独創的シーズ展開事業 大学発ベンチャー創出推進

研究代表者

高谷 裕浩  大阪大学, 助教授

研究期間 (年度) 2003 – (非公開)
概要直径数ミクロンの微粒子を光放射圧で制御し、プローブ球として利用することにより、高感度なナノ3次元の位置検出マイクロプローブ技術を開発し、さらにこれを超精密加工機に搭載して加工-計測機能が一体化された超精密ナノ加工計測装置を構築する。

URL: 

JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

サービス概要 よくある質問 利用規約

Powered by NII jst