超精密ナノ加工計測装置の開発

研究課題

研究代表者	高谷裕浩大阪大学, 助教授
研究期間 (年度)	2003 – (非公開)
概要	直径数ミクロンの微粒子を光放射圧で制御し、プローブ球として利用することにより、高感度なナノ3次元の位置検出マイクロプローブ技術を開発し、さらにこれを超精密加工機に搭載して加工-計測機能が一体化された超精密ナノ加工計測装置を構築する。