欠陥消滅機能を持つ半導体洗浄液の実用化研究

研究課題

研究代表者	小林光大阪大学, 教授
研究期間 (年度)	2004 – (非公開)
概要	従来の洗浄液の1/100以下の低濃度の成分で十分な洗浄能力を持ち、かつ半導体中の欠陥準位を消滅させる機能を併せ持つ安価な新洗浄液を開発する。本洗浄液の使用により、各種半導体デバイスの高性能化と低コスト化が同時に達成できるものと期待される。