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欠陥消滅機能を持つ半導体洗浄液の実用化研究

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 平成20年度までに募集を終了した事業 独創的シーズ展開事業 大学発ベンチャー創出推進

研究代表者

小林 光  大阪大学, 教授

研究期間 (年度) 2004 – (非公開)
概要従来の洗浄液の1/100以下の低濃度の成分で十分な洗浄能力を持ち、かつ半導体中の欠陥準位を消滅させる機能を併せ持つ安価な新洗浄液を開発する。本洗浄液の使用により、各種半導体デバイスの高性能化と低コスト化が同時に達成できるものと期待される。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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