半導体クラスターイオン注入装置

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開研究成果展開事業平成20年度までに募集を終了した事業委託開発

体系的番号	JPMJTT9805
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTT9805
研究代表者	山田公姫路工業大学
企業責任者	住友イートンノバ株式会社
研究期間 (年度)	1998 – (非公開)