マスクレス露光装置

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開研究成果展開事業平成20年度までに募集を終了した事業委託開発

体系的番号	JPMJTT0113
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTT0113
研究代表者	横山浩独立行政法人産業技術総合研究所
企業責任者	株式会社ニュークリエイション
研究期間 (年度)	2001 – (非公開)