インラインで大口径ウエハを測定可能な高周波磁性薄膜評価装置の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開復興促進プログラムマッチング促進

企業責任者	株式会社東栄科学産業
研究責任者	薮上信東北学院大学, 大学院工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2012 – 2014