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次世代超低損傷微細加工プロセス用大口径中性粒子ビーム源の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 復興促進プログラム マッチング促進

企業責任者 東京エレクトロン株式会社
研究責任者 寒川 誠二  東北大学, 流体科学研究所, 教授
研究期間 (年度) 2012 – 2014

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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