次世代超低損傷微細加工プロセス用大口径中性粒子ビーム源の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開復興促進プログラムマッチング促進

企業責任者	東京エレクトロン株式会社
研究責任者	寒川誠二東北大学, 流体科学研究所, 教授
研究期間 (年度)	2012 – 2014