高効率で低コストな多結晶シリコンウェハプロセスの一貫した開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開復興促進プログラムマッチング促進

企業責任者	株式会社リード
研究責任者	宇佐美徳隆名古屋大学, 大学院工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2012 – 2014