超微細加工用イオン源

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開研究成果展開事業平成20年度までに募集を終了した事業独創的シーズ展開事業独創モデル化

企業責任者	株式会社日立ハイテクサイエンスシステムズ
研究期間 (年度)	1998 – (非公開)