超LSI銅配線層に用いる新しいメッキ液の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開研究成果展開事業平成20年度までに募集を終了した事業独創的シーズ展開事業独創モデル化

企業責任者	森田化学工業株式会社
研究期間 (年度)	2001 – (非公開)