2007 年度終了報告書

高機能ナノ立体構造デバイス・プロセス

研究課題

体系的番号	JPMJCR02C7
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJCR02C7
研究代表者	松井真二姫路工業大学, 高度産業科学技術研究所, 教授
研究期間 (年度)	2002 – 2007
研究領域	高度情報処理・通信の実現に向けたナノファクトリーとプロセス観測