2007 年度事後評価書

カーボンナノ材料を用いた量子ナノデバイスプロセスの開発

研究課題

体系的番号	JPMJCR02C1
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJCR02C1
研究代表者	石橋幸治理化学研究所, 半導体工学研究室, 先任研究員
研究期間 (年度)	2002 – 2007
研究領域	高度情報処理・通信の実現に向けたナノファクトリーとプロセス観測