2013 年度終了報告書

自己組織プロセスにより創製された機能性・複合CNT素子による柔らかいナノMEMSデバイス

研究課題

体系的課題番号	JPMJCR08G4
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJCR08G4
研究代表者	畠賢治独立行政法人産業技術総合研究所, ナノチューブ応用研究センター, スーパーグロースCNTチーム長
研究期間 (年度)	2008 – 2013
研究領域	プロセスインテグレーションによる機能発現ナノシステムの創製