2020 年度終了報告書

粉体成膜プロセス研究のハイスループット化のためのデータ駆動型プロセス・インフォマティクス

研究課題

体系的番号	JPMJMI19G3
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJMI19G3
研究代表者	長藤圭介東京大学, 大学院工学系研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2019 – 2020
研究領域	共通基盤「革新的な知や製品を創出する共通基盤システム・装置の実現」