2023 年度終了報告書

ホウ素を基軸としたpn精密パターニング技術の開拓

研究課題

戦略的な研究開発の推進戦略的創造研究推進事業 ACT-X

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体系的番号	JPMJAX21KB
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJAX21KB
研究代表者	田中直樹九州大学, 大学院工学研究院, 助教
研究期間 (年度)	2021 – 2023
研究領域	リアル空間を強靭にするハードウェアの未来