メタマテリアルの自己組織的作製とナノリソグラフィーへの応用
| 体系的番号 |
JPMJPR08H7 |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJPR08H7 |
研究代表者 |
藪 浩 東北大学, 多元物質科学研究所, 助教
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2008 – 2012
|
| 概要 | 波長よりも小さい金属-誘電体の周期構造は、負の屈折率を持ち、回折限界以下の光を投影できるメタマテリアルとなることが報告されています。本研究では、自己組織化により内部にナノサイズの相分離構造を持つブロックコポリマー微粒子を作製し、ナノメッキ技術により金属化することで、紫外・可視光領域におけるメタマテリアルを作製します。これをレンズに用いることで、回折限界を超えるナノリソグラフィー技術を確立します。
|
|---|
| 研究領域 | ナノシステムと機能創発 |
|---|
